Особливості застосування теплових сенсорів потоку загального та біомедичного призначення

Abstract

В статті розглянуто особливості озробки нового покоління інтегральних сигнальних перетворювачів для мікроелектронних теплових сенсорів потоку. В процесі розробки сенсорних пристроїв вимірювання швидкості потоку повинні враховуватися всі вимоги щодо їх відповідності сучасним напрямкам розвитку мікроелектронних сенсорів, зокрема, інтерфейсна сумісність, можливість програмного керування процесом вимірювання, розширені функціональні можливості.

The article deals with the features of the new generation of integrated signal converters for microelectronic thermal flow sensors. In the process of developing sensor flow measurement devices, all requirements regarding their compliance with modern directions of development of microelectronic sensors, in particular, interfacial compatibility, the possibility of programmed control of the measurement process, extended functionality, should be taken into account.