Перетворювач тиску з частотним виходом і MEMS тензочутливим резистивним елементом

Abstract

Розроблено перетворювач тиску з частотним виходом і MEMS тензочутливим резистивним елементом на основі транзисторної структури з від'ємним диференційним опором. Отримано аналітичні вирази функції перетворення та рівняння чутливості. На основі експериментальних досліджень встановлено, що частота генерації змінювалась від 402 кГц до 2005 кГц при зміні тиску від 0 до 120 кПа. Чутливість перетворювача складає 10,3 кГц/кПа – 12,65 кГц/кПа.

A frequency transducer with frequency output and MEMS tenzo-sensitive resistive element based on transistor structure with negative differential resistance was developed. The analytical expressions of the transformation function and the sensitivity equation are obtained. On the basis of experimental studies it was established that the frequency of generation varied from 402 kHz to 2005 kHz with a change in pressure from 0 to 120 kPa. The sensitivity of the transducer is 10.3 kHz/kPa - 12.65 kHz/kPa.