Операторна передатна функція мікромеханічних акселерометрів серії ADXL(XXX) компанії Analog Devices на основі їх уточнених електричних та математичних моделей

Abstract

В роботі наведено уточнені електричні та математичні моделі мікромеханічних ємнісних акселерометрів серії ADXL(xxx) відомої американської компанії Analog Devices і на основі цих моделей отримано їх важливу динамічну метрологічну характеристику – операторну передатну функцію (за Лапласом).

In article authors have recreated more exact electric and mathematical models of micromechanical capacitance accelerometers of a row (ADXLxxx) of the known American company Analog Devices. With their help the main dynamic metrological characteristics of the specified sensors are received. In article authors develop transfer-function coefficient of accelerometers and their electric models.