Показати скорочену інформацію

dc.contributor.authorОсадчук, В. С.uk
dc.contributor.authorОсадчук, О. В.uk
dc.contributor.authorКравченко, Ю. С.uk
dc.contributor.authorСелецька, O. O.uk
dc.date.accessioned2016-01-26T15:01:08Z
dc.date.available2016-01-26T15:01:08Z
dc.date.issued2009
dc.identifier.citationОптичний мікроелектронний перетворювач з активним індуктивним елементом для контролю плазмохімічних процесів [Текст] / В. С. Осадчук, О. В. Осадчук, Ю. С. Кравченко, O. O. Селецька // Вісник Вінницького політехнічного інституту. - 2009. - № 6. - С. 94-100.uk
dc.identifier.issn1997-9274
dc.identifier.issn1997-9266
dc.identifier.urihttp://visnyk.vntu.edu.ua/index.php/visnyk/article/view/1809
dc.identifier.urihttp://ir.lib.vntu.edu.ua/handle/123456789/6040
dc.description.abstractРозроблено математичну модель мікроелектронного оптичного перетворювача з активним індуктивним елементом, призначеного для контролю плазмохімічних процесів. На основі моделі отримано аналітичні залежності для функції перетворення та рівняння чутливості.uk
dc.description.abstractРазработана математическая модель микроэлектронного оптического преобразователя с активным индуктивным элементом, предназначенного для контроля плазмохимических процессов. На основании модели получены аналитические зависимости для функции преобразования и уравнение чувствительности.ru
dc.description.abstractMathematical model of microelectronic optical converter with active inductive element for control of plasmochemical processes has been developed. On the base of this model analytical dependences for transformation function and the equation of sensitivity are obtained.en
dc.language.isouk_UAuk_UA
dc.publisherВНТУuk
dc.titleОптичний мікроелектронний перетворювач з активним індуктивним елементом для контролю плазмохімічних процесівuk
dc.title.alternativeOptical microelectronic converter with active inductive element for control of plasmochemical processesen
dc.title.alternativeОптический микроэлектронный преобразователь с активным индуктивным элементом для контроля плазмохимических процессовru
dc.typeArticle
dc.identifier.udc621.3.049


Файли в цьому документі

Thumbnail

Даний документ включений в наступну(і) колекцію(ї)

Показати скорочену інформацію