Вольт-амперна характеристика частотного оптичного перетворювача для контролю плазмохімічних процесів з активним індуктивним елементом

Abstract

Розроблено математичну модель вольт-амперної характеристики мікроелектронного оптичного перетворювача на основі біполярного та МДН-транзисторів з активним індуктивним елементом для контролю плазмохімічних елементів.Разработана математическая модель вольт-амперной характеристики микроэлектронного оптического преобразователя на основе биполярного и МДП-транзисторов с активным индуктивным элементом для контроля плазмохимических процессов.Mathematical model of voltage-current characteristic of microelectronic optical converter composed of bipolar and mosfet transistors and active inductance is developed. Such converter is used in the system for control of plasmochemical processes.