• English
    • українська
  • English 
    • English
    • українська
  • Login
View Item 
  • Frontpage
  • Періодичні видання ВНТУ
  • Вісник Вінницького політехнічного інституту
  • Вісник Вінницького політехнічного інституту. 2011. № 4
  • View Item
  • Frontpage
  • Періодичні видання ВНТУ
  • Вісник Вінницького політехнічного інституту
  • Вісник Вінницького політехнічного інституту. 2011. № 4
  • View Item
Сайт інституційного репозитарію ВНТУ містить роботи, матеріали та файли, які були розміщені докторантами, аспірантами та студентами Вінницького Національного Технічного Університету. Для розширення функцій сайту рекомендується увімкнути JavaScript.

Багатоканальна система реєстрації спектра випромінювання нерівноважної плазми

Author
Білилівський, В. М.
Кравченко, С. Ю.
Кравченко, Ю. С.
Осадчук, В. С.
Date
2011
Metadata
Show full item record
Collections
  • Вісник Вінницького політехнічного інституту. 2011. № 4 [43]
  • Наукові роботи каф. ІРТС [781]
Abstract
На базі мікроконтролера РІС16F877A розроблена мікропроцесорна система реєстрації спектра випромінювання нерівноважної плазми для контролю плазмохімічних процесів. Система дозволяє проводити одночасну обробку даних від чотирьох незалежних джерел інформації та візуалізувати цільовий процес плазмового травлення мікроструктур.
 
На базе микроконтроллера РІС16F877A разработана микропроцессорная система регистрации спектра излучения неравновесной плазмы для контроля плазмохимических процессов. Система позволяет проводить одновременную обработку данных от четырех независимых источников информации и визуализировать целевой процесс плазменного травления микроструктур.
 
On the basis of the microcontroller RІS16F877A microprocessor system of registration of the emission spectrum of nonequilibrium plasma is designed to control plasma-chemical processes. The system allows simultaneous processing of data from four independent sources of information and visualize the target process of plasma etching of microstructures.
 
URI:
http://visnyk.vntu.edu.ua/index.php/visnyk/article/view/1502
http://ir.lib.vntu.edu.ua/handle/123456789/6332
View/Open
1502.pdf (830.8Kb)

Institutional Repository

FrontpageSearchHelpContact UsAbout Us

University Resources

JetIQLibrary websiteUniversity websiteE-catalog of VNTU

Browse

All of DSpaceCommunities & CollectionsBy Issue DateAuthorsTitlesSubjectsTypePublisherLanguageUdcISSNPublicationDOIThis CollectionBy Issue DateAuthorsTitlesSubjectsTypePublisherLanguageUdcISSNPublicationDOI

My Account

LoginRegister

Statistics

View Usage Statistics

ISSN 2413-6360 | Frontpage | Send Feedback | Help | Contact Us | About Us
© 2016 Vinnytsia National Technical University | Extra plugins code by VNTU Linuxoids | Powered by DSpace
Працює за підтримки 
НТБ ВНТУ