Показати скорочену інформацію

dc.contributor.authorБілилівський, В. М.uk
dc.contributor.authorКравченко, С. Ю.uk
dc.contributor.authorКравченко, Ю. С.uk
dc.contributor.authorОсадчук, В. С.uk
dc.date.accessioned2016-01-26T15:33:06Z
dc.date.available2016-01-26T15:33:06Z
dc.date.issued2011
dc.identifier.citationБагатоканальна система реєстрації спектра випромінювання нерівноважної плазми [Текст] / В. М. Білилівський, С. Ю. Кравченко, Ю. С. Кравченко, В. С. Осадчук // Вісник Вінницького політехнічного інституту. - 2011. - № 4. - С. 169-172.uk
dc.identifier.issn1997-9274
dc.identifier.issn1997-9266
dc.identifier.urihttp://visnyk.vntu.edu.ua/index.php/visnyk/article/view/1502
dc.identifier.urihttp://ir.lib.vntu.edu.ua/handle/123456789/6332
dc.description.abstractНа базі мікроконтролера РІС16F877A розроблена мікропроцесорна система реєстрації спектра випромінювання нерівноважної плазми для контролю плазмохімічних процесів. Система дозволяє проводити одночасну обробку даних від чотирьох незалежних джерел інформації та візуалізувати цільовий процес плазмового травлення мікроструктур.uk
dc.description.abstractНа базе микроконтроллера РІС16F877A разработана микропроцессорная система регистрации спектра излучения неравновесной плазмы для контроля плазмохимических процессов. Система позволяет проводить одновременную обработку данных от четырех независимых источников информации и визуализировать целевой процесс плазменного травления микроструктур.ru
dc.description.abstractOn the basis of the microcontroller RІS16F877A microprocessor system of registration of the emission spectrum of nonequilibrium plasma is designed to control plasma-chemical processes. The system allows simultaneous processing of data from four independent sources of information and visualize the target process of plasma etching of microstructures.en
dc.language.isouk_UAuk_UA
dc.publisherВНТУuk
dc.titleБагатоканальна система реєстрації спектра випромінювання нерівноважної плазмиuk
dc.title.alternativeMultichannel recording system of the emission spectrum of nonequilibrium plasmaen
dc.title.alternativeМногоканальная система регистрации спектра излучения неравновесной плазмыru
dc.typeArticle
dc.identifier.udc621.382 1


Файли в цьому документі

Thumbnail

Даний документ включений в наступну(і) колекцію(ї)

Показати скорочену інформацію