Показати скорочену інформацію

dc.contributor.authorСелецька, О. О.uk
dc.contributor.authorОсадчук, О. В.uk
dc.contributor.authorОсадчук, В. С.uk
dc.contributor.authorЗвягін, О. С.uk
dc.contributor.authorСелецкая, Е. А.ru
dc.contributor.authorОсадчук, А. В.ru
dc.contributor.authorОсадчук, В. С.ru
dc.contributor.authorЗвягин, О. С.ru
dc.contributor.authorSeletska, O. O.en
dc.contributor.authorOsadchuk, V. S.en
dc.contributor.authorOsadchuk, O. V.en
dc.contributor.authorZviahin, O. S.en
dc.date.accessioned2016-04-29T10:40:11Z
dc.date.available2016-04-29T10:40:11Z
dc.date.issued2014
dc.identifier.citationЧастотний оптичний перетворювач з фототранзистором та активним індуктивним елементом для контролю плазмохімічних процесів [Текст] / О. О. Селецька, О. В. Осадчук, В. С. Осадчук, О. С. Звягін // Вісник Хмельницького національного університету. - 2014. - № 5. - С. 123-129.uk
dc.identifier.issn2307-5732
dc.identifier.urihttp://ir.lib.vntu.edu.ua/handle/123456789/9739
dc.description.abstractРозроблено математичну модель частотного оптичного перетворювача з фототранзистором та активним індуктивним елементом для контролю плазмохімічних процесів, яка складається з біполярного і МДН¬ транзисторів та двох фототранзисторів в якості фоточутливих елементів, на основі якої отримано аналітичні залежності для функції перетворення та рівняння чутливості.травлення малих площин.uk
dc.description.abstractРазработана математическая модель частотного оптического преобразователя с фототранзистором и активным индуктивным элементом для контроля плазмохимических процессов, состоящая из биполярного и МДН¬ транзисторов и двух фототранзисторов в качестве фоточувствительных элементов, на основе которой получены аналитические зависимости для функции преобразования и уравнение чувствительности травления малых плоскостей.ru
dc.description.abstractThis work presents optical transducer with frequency output on the basis of semiconductor structures with negative resistance, the principle of which operation is based on the functional connection of reactive properties of transistor structures with negative resistance from the effects of illumination of plasma light, which enables creation and development competitive is models of this production. The mathematical model of frequency optical transducer composed of bipolar and mosfet transistors with photo transistor as photosensitive element and an active inductive element has been developed. On the base of this model analytical dependences of function of transformation and the equation of sensitivity are received. The frequency optical transducer can be used in the microelectronic industry for plasma chemical etching control systemsen
dc.language.isouk_UAuk_UA
dc.publisherХмельницький національний університетuk
dc.relation.ispartofseriesТехнічні наукиuk
dc.subjectоптичний перетворювачuk
dc.subjectбіполярний транзисторuk
dc.subjectпольовий транзисторuk
dc.subjectплазмохімічне травленняuk
dc.subjectоптический преобразовательru
dc.subjectбиполярный транзисторru
dc.subjectполевой транзисторru
dc.subjectплазмохимическое травлениеru
dc.subjectoptical transduceren
dc.subjectbipolar transistoren
dc.subjectmosfet transistoren
dc.subjectplasma chemical etchingen
dc.titleЧастотний оптичний перетворювач з фототранзистором та активним індуктивним елементом для контролю плазмохімічних процесівuk
dc.title.alternativeЧастотный оптический преобразователь фототранзистором и активным индуктивным элементом для контроля плазмохимических процессовru
dc.title.alternativeFrequency optical transducer with a photo transistor and an active inductive element for control plasma chemical processesen
dc.typeArticle
dc.identifier.udc621.3.049


Файли в цьому документі

Thumbnail

Даний документ включений в наступну(і) колекцію(ї)

Показати скорочену інформацію