Обґрунтування робочих параметрів систем створення мікроклімату чистих приміщень в галузі мікроелектроніки

Abstract

У даній доповіді розглядаються питання створення детального аналіз основного принципу забезпечення параметрів моніторингу системи кондиціонування та фільтрації чистих приміщень мікроелектроніки.

This report addresses the issues of creating a detailed analysis of the basic principle of providing parameters for monitoring the air conditioning and filtration system of clean rooms of microelectronics.