• English
    • українська
  • English 
    • English
    • українська
  • Login
View Item 
  • Frontpage
  • Патенти, авторські свідоцтва
  • Факультет інформаційних електронних систем
  • View Item
  • Frontpage
  • Патенти, авторські свідоцтва
  • Факультет інформаційних електронних систем
  • View Item
Сайт інституційного репозитарію ВНТУ містить роботи, матеріали та файли, які були розміщені докторантами, аспірантами та студентами Вінницького Національного Технічного Університету. Для розширення функцій сайту рекомендується увімкнути JavaScript.

Пристрій для визначення моменту закінчення процесу плазмового травлення

Author
Кравченко, Юрій Степанович
Даниленко, Олена Олександрівна
Кравченко, Юрий Степанович
Kravchenko, Yurii Stepanovych
Date
2005-10-17
Metadata
Show full item record
Collections
  • Факультет інформаційних електронних систем [678]
Abstract
Пристрій для визначення моменту закінчення процесу плазмового травлення містить лазер, конденсор, поворотне дзеркало, діафрагму та плазмовий реактор з пластинками (зразками) і оптичним вікном, фотоперетворювач. Фотоперетворювач містить фоторезистор, біполярний та польовий транзистори, індуктивність, ємність і два джерела постійної напруги.
 
Предлагаемое устройство для определения момента времени окончания процесса плазменного травления содержит лазер, конденсор, поворотное зеркало, диафрагму, плазменную камеру с оптическим окошком и фотоэлектрический преобразователь. Фотоэлектрический преобразователь содержит фоторезистор, биполярный транзистор, полевой транзистор, катушку индуктивности, конденсатор и два источника постоянного напряжения.
 
The proposed device for determining the instant of the termination of plasma etching process contains a laser, a condenser, a rotary reflector, a diaphragm, a plasma chamber with an optical window, and a photoelectric converter. The photoelectric converter contains a photoresistor, a bipolar transistor, a field-effect transistor, an inductance coil, a capacitor, and two direct voltage sources.
 
URI:
http://ir.lib.vntu.edu.ua/handle/123456789/2469
View/Open
9698.pdf (38.30Kb)

Institutional Repository

FrontpageSearchHelpContact UsAbout Us

University Resources

JetIQLibrary websiteUniversity websiteE-catalog of VNTU

Browse

All of DSpaceCommunities & CollectionsBy Issue DateAuthorsTitlesSubjectsTypePublisherLanguageUdcISSNPublicationDOIThis CollectionBy Issue DateAuthorsTitlesSubjectsTypePublisherLanguageUdcISSNPublicationDOI

My Account

LoginRegister

Statistics

View Usage Statistics

ISSN 2413-6360 | Frontpage | Send Feedback | Help | Contact Us | About Us
© 2016 Vinnytsia National Technical University | Extra plugins code by VNTU Linuxoids | Powered by DSpace
Працює за підтримки 
НТБ ВНТУ