| dc.contributor.author | Кузнєцов, М. В. | uk |
| dc.contributor.author | Дудатьєв І. А. | uk |
| dc.date.accessioned | 2019-12-05T10:46:47Z | |
| dc.date.available | 2019-12-05T10:46:47Z | |
| dc.date.issued | 2019 | |
| dc.identifier.citation | Кузнєцов М. В. Визначення методі і розробка пристрою обчислення густини мікродефектів в напівпровідникових пластинах кремнію [Електронний ресурс] / М. В. Кузнєцов, І. А. Дудатьєв // Матеріали XLVIII науково-технічної конференції підрозділів ВНТУ, Вінниця, 13-15 березня 2019 р. – Електрон. текст. дані. – 2019. – Режим доступу: https://conferences.vntu.edu.ua/index.php/all-fksa/all-fksa-2019/paper/view/7815. | uk |
| dc.identifier.uri | http://ir.lib.vntu.edu.ua//handle/123456789/27203 | |
| dc.description.abstract | Виявлення свирлевих дифектів. | uk |
| dc.description.abstract | Detection of spider-like distortions | en |
| dc.language.iso | uk_UA | uk_UA |
| dc.publisher | ВНТУ | uk |
| dc.relation.ispartof | Матеріали XLVIII науково-технічної конференції підрозділів ВНТУ, Вінниця, 13-15 березня 2019 р. | uk |
| dc.relation.uri | https://conferences.vntu.edu.ua/index.php/all-fksa/all-fksa-2019/paper/view/7815 | |
| dc.subject | мікродефект | uk |
| dc.subject | густина мікродифектів | uk |
| dc.subject | microdefect | en |
| dc.subject | density of microprocessors | en |
| dc.title | Визначення методі і розробка пристрою обчислення густини мікродефектів в напівпровідникових пластинах кремнію | uk |
| dc.type | Thesis | |
| dc.identifier.udc | 621.315.592 | |
| dc.relation.references | www.atmu.net.ua/downloads/archive/sb2-13s.pdf | |
| dc.relation.references | https://patonpublishinghouse.com/as/pdf/2017/as201707all.pdf | |
| dc.relation.references | x-ray.net.ua/downloads/prints/referat/kv-referat.pdf | |
