Автоматизована система нанометричного контролю на базі атомно-силового мікроскопу
| dc.contributor.author | Андрієнко, Ольга | uk |
| dc.contributor.author | Тичков, Дмитро | uk |
| dc.contributor.author | Бондаренко, Максим | uk |
| dc.date.accessioned | 2020-09-30T18:18:30Z | |
| dc.date.available | 2020-09-30T18:18:30Z | |
| dc.date.issued | 2020-10 | |
| dc.identifier.citation | Андрієнко Ольга Автоматизована система нанометричного контролю на базі атомно-силового мікроскопу [Електронний ресурс] / О. Андрієнко, Д. Тичков, М. Бондаренко // Матеріали XV мiжнародної конференцiї "Контроль i управлiння в складних системах (КУСС-2020)", м. Вiнниця, 8-10 жовтня 2020 р. – Електрон. текст. дані. – Вінниця : ВНТУ, 2020. – Режим доступу: http://ir.lib.vntu.edu.ua//handle/123456789/30639. | uk |
| dc.identifier.uri | http://ir.lib.vntu.edu.ua//handle/123456789/30639 | |
| dc.language.iso | uk_UA | uk_UA |
| dc.publisher | ВНТУ | uk |
| dc.relation.ispartof | Матеріали XV мiжнародної конференцiї "Контроль i управлiння в складних системах (КУСС-2020)", м. Вiнниця, 8-10 жовтня 2020 р. | uk |
| dc.title | Автоматизована система нанометричного контролю на базі атомно-силового мікроскопу | uk |
| dc.type | Thesis | |
| dc.identifier.udc | 681.518.5 | |
| dc.status | first published | en |
Файли в цьому документі
Даний документ включений в наступну(і) колекцію(ї)
-
Контроль і управління в складних системах (КУСС-2020) [111]
ХV Міжнародна конференція «Контроль і управління в складних системах (КУСС-2020)», 8-10 жовтня 2020 року