| dc.contributor.author | Фельчин, В. М. | uk |
| dc.contributor.author | Тужанський, С. Є. | uk |
| dc.date.accessioned | 2024-03-27T10:12:41Z | |
| dc.date.available | 2024-03-27T10:12:41Z | |
| dc.date.issued | 2023 | |
| dc.identifier.citation | Фельчин В. М. Система оптичного контролю напівпровідникових пластин [Електронний ресурс] / В. М. Фельчин, С. Є. Тужанський // Матеріали LIІ науково-технічної конференції підрозділів ВНТУ, Вінниця, 21-23 червня 2023 р. – Електрон. текст. дані. – 2023. – Режим доступу: https://conferences.vntu.edu.ua/index.php/all-frtzp/all-frtzp-2023/paper/view/18836. | uk |
| dc.identifier.uri | http://ir.lib.vntu.edu.ua//handle/123456789/41273 | |
| dc.description.abstract | Проведено порівняльний аналіз існуючих модуляторів поляризації, обґрунтовано вибір компонентів, розроблено структурну та оптичну схеми комп’ютеризованої системи поляриметричного контролю напівпровідникових пластин. Також розраховано параметри схеми фотоелектричного перетворювача. | uk |
| dc.description.abstract | A comparative analysis of existing polarization modulators was carried out, the choice of components was substantiated, and the structural and optical schemes of a computerized system for polarimetric control of semiconductor wafers were developed. The parameters of the photovoltaic converter circuit are also calculated. | en |
| dc.language.iso | uk_UA | uk_UA |
| dc.publisher | ВНТУ | uk |
| dc.relation.ispartof | Матеріали LIІ науково-технічної конференції підрозділів ВНТУ, Вінниця, 21-23 червня 2023 р. | uk |
| dc.relation.uri | https://conferences.vntu.edu.ua/index.php/all-frtzp/all-frtzp-2023/paper/view/18836 | |
| dc.subject | лазер | uk |
| dc.subject | оптичний контроль | uk |
| dc.subject | поляриметр | uk |
| dc.subject | напівпровідіник | uk |
| dc.subject | laser | en |
| dc.subject | optical control | en |
| dc.subject | polarimeter | en |
| dc.subject | semiconductor | en |
| dc.title | Система оптичного контролю напівпровідникових пластин | uk |
| dc.type | Thesis | |
| dc.relation.references | Бондарчук Я.М. Технологія і обробка оптичних матеріалів. Львів: Ліга-Прес, 2001. 242 с. | uk |
| dc.relation.references | Тужанський С. Є., Лисенко Г. Л. Системи лазерної відеополяриметрії для автоматизованого
контролю параметрів неоднорідних біотканин : монографія. Вінниця : ВНТУ, 2011. 156 с. | uk |
| dc.relation.references | Оксанич А.П. Промислові методи і пристрої дослідження напружено-деформованого стану
напівпровідникових матеріалів. Харків: Інститут монокристалів, 2001. 206 с. | uk |
