| dc.contributor.author | Фельчин, В. М. | uk |
| dc.contributor.author | Тужанський, С. Є. | uk |
| dc.date.accessioned | 2024-04-29T19:17:12Z | |
| dc.date.available | 2024-04-29T19:17:12Z | |
| dc.date.issued | 2024 | |
| dc.identifier.citation | Фельчин В. М., Тужанський С. Є. Аналіз і класифікація методів оптичного контролю напівпровідників. Матеріали LІII науково-технічної конференції підрозділів ВНТУ, Вінниця, 20-22 березня 2024 р. Електрон. текст. дані. 2024. URI: https://conferences.vntu.edu.ua/index.php/all-frtzp/all-frtzp-2024/paper/view/20515. | uk |
| dc.identifier.uri | https://ir.lib.vntu.edu.ua//handle/123456789/41542 | |
| dc.description.abstract | Розглядаються візуальні, інтерференційні, поляризаційні та інші методи. Обговорюються їхні переваги, недоліки та практичне застосування. Оптичні методи дозволяють досліджувати склад, властивості, структуру та параметри напівпровідників без їх руйнування. Ці методи ґрунтуються на відбитті, поглинанні, інтерференції та дифракції світла. | uk |
| dc.language.iso | uk_UA | uk_UA |
| dc.publisher | ВНТУ | uk |
| dc.relation.ispartof | Матеріали LІII науково-технічної конференції підрозділів ВНТУ, Вінниця, 20-22 березня 2024 р. | uk |
| dc.relation.uri | https://conferences.vntu.edu.ua/index.php/all-frtzp/all-frtzp-2024/paper/view/20515 | |
| dc.subject | напівпровідникові прилади | uk |
| dc.subject | поляризаційний контроль | uk |
| dc.subject | інтерференційний контроль | uk |
| dc.subject | візуальний контроль | uk |
| dc.title | Аналіз і класифікація методів оптичного контролю напівпровідників | uk |
| dc.type | Thesis | |
| dc.identifier.udc | 681.7 | |
