Мікроелектронний вимірювач тиску з частотним виходом

Abstract

Мікроелектронний вимірювач тиску з частотним виходом належить до контрольно-вимірювальної техніки і може бути використаний як датчик тиску в різноманітних пристроях автоматичного керування. Вимірювач тиску містить тензорезистивний міст на напівпровідниковій мембрані з чотирьох тензорезисторів, польовий транзистор, два біполярні транзистори, дві ємності та сім резисторів. Всі елементи вимірювача живляться від джерела постійної напруги. При дії тиску на мембрану змінюється вихідна напруга з плечей тензорезистивного моста, що призводить до зміни ємнісної складової повного опору на електродах стік-колектор польового транзистора і першого біполярного транзистора та викликає зміну резонансної частоти коливального контуру. За рахунок конструктивного вирішення вимірювача досягається перетворення тиску у частоту, що підвищує чутливість і точність вимірювання тиску.

Микроэлектронный измеритель давления с частотным выходом относится к контрольно-измерительной технике и может быть использован как датчик давления в разнообразных устройствах автоматического управления. Измеритель давления содержит тензорезистивный мост на полупроводниковой мембране из четырех тензорезисторов, полевой транзистор, два биполярных транзистора, две емкости и семь резисторов. Все элементы измерителя питаются от источника постоянного напряжения. При действии давления на мембрану изменяется исходное напряжение с плеч тензорезистивного моста, что приводит к изменению емкостной составляющей полного сопротивления на электродах сток-коллектор полевого транзистора и первого биполярного транзистора и вызывает изменение резонансной частоты колебательного контура. За счет конструктивного решения измерителя достигается преобразование давления в частоту, что повышает чувствительность и точность измерения давления.

Microelectronic pressure measuring device with frequency output relates to control-measuring equipment and can be used as pressure indicator in different devices of automated control. Pressure measuring device has tensioresistive bridge on semiconductor membrane made of four tensoresistors, field transistor, two bipolar transistors, two vessels and seven resistors. All the elements of the measuring device are fed from source of direct voltage. At effect of pressure on membrane output voltage from arms of tensoresistive bridge, this leads to change of capacitor component of total resistance on electrodes drain-collector of field transistor and first bipolar transistor and change of resonance frequency of oscillatory circuit. Due to design solution for measuring device transformation of pressure to frequency is achieved, this increases sensitivity and accuracy of measurement of pressure.