| dc.contributor.author | Кравченко, Юрій Степанович | uk |
| dc.contributor.author | Дудник, Дмитро Петрович | uk |
| dc.contributor.author | Кравченко, Юрий Степанович | ru |
| dc.contributor.author | Дудник, Дмитрий Петрович | ru |
| dc.contributor.author | Kravchenko, Yurii Stepanovych | en |
| dc.contributor.author | Dudnyk, Dmytro Petrovych | en |
| dc.date.accessioned | 2016-05-27T12:36:32Z | |
| dc.date.available | 2016-05-27T12:36:32Z | |
| dc.date.issued | 2008-04-10 | |
| dc.identifier.citation | Пат. 31519 UA, МПК H01L 21/302. Спосіб визначення моменту закінчення процесу плазмохімічного травлення [Текст] / Ю. С. Кравченко, Д. П. Дудник (Україна). - № u200714245 ; заявл. 17.12.2007 ; опубл. 10.04.2008, Бюл. № 7. - 2 с. : кресл. | uk |
| dc.identifier.uri | http://ir.lib.vntu.edu.ua/handle/123456789/11415 | |
| dc.description.abstract | Спосіб визначення моменту закінчення процесу плазмохімічного травлення належить до області електронної техніки і може бути використаний для контролю плазмохімічних процесів в різноманітних пристроях автоматичного керування технологічними процесами. | uk |
| dc.language.iso | uk_UA | uk_UA |
| dc.publisher | Державне підприємство "Український інститут промислової власності" (УКРПАТЕНТ) | uk |
| dc.subject | H01L 21/302 | |
| dc.subject | електронна техніка | uk |
| dc.subject | контроль плазмохімічних процесів | uk |
| dc.subject | автоматичне керування технологічними процесами | uk |
| dc.subject | плазмохімічне травлення мікроструктур | uk |
| dc.title | Спосіб визначення моменту закінчення процесу плазмохімічного травлення | uk |
| dc.title.alternative | Способ определения момента окончания процесса плазмохимического травления | ru |
| dc.title.alternative | Method for determination of finishing plasmochemical etching process | en |
| dc.type | Patent | |
