| dc.contributor.author | Слотвійчук, Сергій Анатолійович | uk |
| dc.contributor.author | Кравченко, Юрій Степанович | uk |
| dc.contributor.author | Кравченко, Юрий Степанович | ru |
| dc.date.accessioned | 2016-08-30T09:55:36Z | |
| dc.date.available | 2016-08-30T09:55:36Z | |
| dc.date.issued | 2016-08-10 | |
| dc.identifier | 109081 | |
| dc.identifier.citation | Пат. 109081 UA, МПК G01K 7/40. Спосіб плазмового травлення в хлоровуглецевій плазмі [Текст] / С. А. Слотвійчук, Ю. С. Кравченко (Україна). - № u2016 01463 ; заявл. 18.02.2016 ; опубл. 10.08.2016, Бюл. № 15. - 4 с. : кресл. | uk |
| dc.identifier.uri | http://ir.lib.vntu.edu.ua/handle/123456789/12978 | |
| dc.description.abstract | Спосіб вимірювання температури газу в нерівноважній плазмі, в якому мідь-константанову термопару, яку попередньо розміщують в кварцовому капілярі, який запаюють на кінці, відрізняється тим, що напругу на зовнішніх її виводах, за допомогою мікроконтролера, перетворюють в цифровий інформаційний сигнал, а температуру газу в нерівноважній плазмі вимірюють за зміною цифрового інформаційного сигналу. | uk |
| dc.language.iso | uk_UA | uk_UA |
| dc.publisher | Державне підприємство "Український інститут промислової власності" (УКРПАТЕНТ) | uk |
| dc.subject | G01K 7/40 | |
| dc.subject | технічна фізика | uk |
| dc.subject | електронна техніка | uk |
| dc.subject | мікроелектронні технології | uk |
| dc.subject | діагностика плазмохімічних процесів | uk |
| dc.subject | контроль плазмохімічних процесів | uk |
| dc.title | Спосіб вимірювання температури газу в нерівноважній плазмі | uk |
| dc.type | Patent | |
