Пристрій для визначення моменту закінчення процесу плазмового травлення

Abstract

Пристрій для визначення моменту закінчення процесу плазмового травлення містить лазер як джерело світла, конденсор, поворотне дзеркало, діафрагму та плазмовий реактор з пластинками (зразками), що підлягають обробці, і оптичним вікном для вводу і виводу оптичного випромінювання, який оптично пов'язаний з фотоперетворювачем. Фотоперетворювач містить фотодіод, резистор, біполярний та польовий транзистори, індуктивність, ємність і два джерела постійної напруги. Перший полюс першого джерела постійної напруги підключений до бази біполярного транзистора, емітер якого з'єднаний з витоком і підкладкою польового транзистора, а колектор з'єднаний із першим виводом фотодіода, першим виводом резистора та першим виводом індуктивності, до якого підключена перша вихідна клема. Другий вивід фотодіода та другий вивід резистора з'єднаний із затвором польового транзистора, при цьому другий вивід індуктивності підключений до першого виводу ємності і першого полюсу другого джерела постійної напруги. Другий полюс другого джерела постійної напруги підключений до другого виводу ємності і другого полюса першого джерела постійної напруги, які утворюють загальну шину, до якої підключена друга вихідна клема пристрою.

Предлагаемое устройство для определения момента времени окончания процесса плазменного травления содержит лазер, конденсор, поворотное зеркало, диафрагму, плазменную камеру с оптическим окошком и фотоэлектрический преобразователь, связанный с плазменной камерой через оптическое окошко. Фотоэлектрический преобразователь содержит фотодиод, резистор, биполярный транзистор, полевой транзистор, катушку индуктивности, конденсатор и два источника постоянного напряжения. Первый вывод первого источника постоянного напряжения соединен с базой биполярного транзистора. Эмиттер биполярного транзистора соединен с истоком и подложкой полевого транзистора, а коллектор соединен с первым выводом фотодиода, первым выводом резистора, первым выводом катушки индуктивности и первым выходным выводом предлагаемого устройства. Второй вывод фотодиода и второй вывод резистора соединены с затвором полевого транзистора. Второй вывод катушки индуктивности соединен с первым выводом конденсатора и первым выводом второго источника постоянного напряжения. Второй вывод второго источника постоянного напряжения соединен со вторым выводом конденсатора, вторым выводом первого источника постоянного напряжения и вторым выходным выводом предлагаемого устройства.

The proposed device for determining the instant of the termination of plasma etching process contains a laser, a condenser, a rotary reflector, a diaphragm, a plasma chamber with an optical window, and a photoelectric converter. The photoelectric converter contains a photodiode, a resistor, a bipolar transistor, a field-effect transistor, an inductance coil, a capacitor, and two direct voltage sources. The first terminal of the first direct voltage source is connected to the base of the bipolar transistor. The emitter of the bipolar transistor is connected to the source and substrate of the field-effect transistor, and the collector is connected to the first terminal of the photodiode, the first terminal of the resistor, the first terminal of the inductance coil, and the first output terminal of the proposed device. The second terminal of the photodiode and the second terminal of the resistor are connected to the gate of the field-effect transistor. The second terminal of the inductance coil is connected to the first terminal of the capacitor and the first terminal of the second direct voltage source. The second terminal of the second direct voltage source is connected to the second terminal of the capacitor, the second terminal of the first direct voltage source, and the second output terminal of the proposed device.