• English
    • русский
    • українська
  • русский 
    • English
    • русский
    • українська
  • Войти
Просмотр элемента 
  • Главная
  • Патенти, авторські свідоцтва
  • Факультет інформаційних електронних систем
  • Просмотр элемента
  • Главная
  • Патенти, авторські свідоцтва
  • Факультет інформаційних електронних систем
  • Просмотр элемента
Сайт інституційного репозитарію ВНТУ містить роботи, матеріали та файли, які були розміщені докторантами, аспірантами та студентами Вінницького Національного Технічного Університету. Для розширення функцій сайту рекомендується увімкнути JavaScript.

Пристрій для визначення моменту закінчення процесу плазмового травлення

Автор
Кравченко, Юрій Степанович
Даниленко, Олена Олександрівна
Кравченко, Юрий Степанович
Kravchenko, Yurii Stepanovych
Дата
2005-10-17
Metadata
Показать полную информацию
Collections
  • Факультет інформаційних електронних систем [640]
Аннотации
Пристрій для визначення моменту закінчення процесу плазмового травлення містить лазер, конденсор, поворотне дзеркало, діафрагму та плазмовий реактор з пластинками (зразками) і оптичним вікном, фотоперетворювач. Фотоперетворювач містить фоторезистор, біполярний та польовий транзистори, індуктивність, ємність і два джерела постійної напруги.
 
Предлагаемое устройство для определения момента времени окончания процесса плазменного травления содержит лазер, конденсор, поворотное зеркало, диафрагму, плазменную камеру с оптическим окошком и фотоэлектрический преобразователь. Фотоэлектрический преобразователь содержит фоторезистор, биполярный транзистор, полевой транзистор, катушку индуктивности, конденсатор и два источника постоянного напряжения.
 
The proposed device for determining the instant of the termination of plasma etching process contains a laser, a condenser, a rotary reflector, a diaphragm, a plasma chamber with an optical window, and a photoelectric converter. The photoelectric converter contains a photoresistor, a bipolar transistor, a field-effect transistor, an inductance coil, a capacitor, and two direct voltage sources.
 
Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://ir.lib.vntu.edu.ua/handle/123456789/2469
Открыть
9698.pdf (38.30Kb)

Институционный репозитарий

ГлавнаяПоискСправкаКонтактыО нас

Ресурсы

JetIQСайт библиотекиСайт университетаЭлектронный каталог ВНТУ

Просмотр

Весь DSpaceСообщества и коллекцииДата публикацииАвторыНазванияТематикаТипИздательствоЯзыкУДКISSNИздательства, что имеетDOIЭта коллекцияДата публикацииАвторыНазванияТематикаТипИздательствоЯзыкУДКISSNИздательства, что имеетDOI

Моя учетная запись

ВойтиРегистрация

Статистика

Просмотр статистики

ISSN 2413-6360 | Главная | Отправить отзыв | Справка | Контакты | О нас
© 2016 Vinnytsia National Technical University | Extra plugins code by VNTU Linuxoids | Powered by DSpace
Працює за підтримки 
НТБ ВНТУ