Спосіб визначення моменту закінчення плазмохімічного травлення мікроструктур в хлорвуглецевій плазмі

Abstract

Спосіб визначення моменту закінчення процесу плазмохімічного травлення в хлорвуглецевій плазмі, в якому власне оптичне випромінювання плазми розділяють за допомогою оптичних вузькосмугових (інтерференційних фільтрів) на інформативне і фонове, за допомогою оптичних частотних перетворювачів перетворюють в електричні частотні сигнали, частота яких залежить від інтенсивності випромінювання, а самі частотні сигнали порівнюють між собою і за величиною різниці частот визначають момент закінчення процесу плазмохімічного травлення, який відрізняється тим, що в якості інформативного оптичного випромінювання використовують сукупну інтенсивність спектральних ліній власного випромінювання збуджених атомів хлору, що випромінюють світло в діапазоні довжин хвиль 725,6-754,4 нм (перша позитивна система), які є достатньо інтенсивними і відокремленими від інших спектральних ліній або смуг, а момент закінчення процесу плазмохімічного травлення реєструють при суттєвому зменшенню інтенсивності такого випромінювання.