| dc.contributor.author | Фельчин, В. М. | uk |
| dc.contributor.author | Тужанський, С. Є. | uk |
| dc.date.accessioned | 2024-04-29T19:17:12Z | |
| dc.date.available | 2024-04-29T19:17:12Z | |
| dc.date.issued | 2024 | |
| dc.identifier.citation | Фельчин В. М., Тужанський С. Є. Аналіз і класифікація методів оптичного контролю напівпровідників. Матеріали LІII науково-технічної конференції підрозділів ВНТУ, Вінниця, 20-22 березня 2024 р. Електрон. текст. дані. 2024. URI: https://conferences.vntu.edu.ua/index.php/all-frtzp/all-frtzp-2024/paper/view/20515. | uk |
| dc.identifier.uri | https://ir.lib.vntu.edu.ua//handle/123456789/41542 | |
| dc.description.abstract | Розглядаються візуальні, інтерференційні, поляризаційні та інші методи. Обговорюються їхні переваги, недоліки та практичне застосування. Оптичні методи дозволяють досліджувати склад, властивості, структуру та параметри напівпровідників без їх руйнування. Ці методи ґрунтуються на відбитті, поглинанні, інтерференції та дифракції світла. | uk |
| dc.description.abstract | Optical methods of non-destructive testing of semiconductor structures and devices are described. Visual,
interference, polarization and other methods are considered. Their advantages, disadvantages and practical
application are discussed. Optical methods allow studying the composition, properties, structure and parameters of
semiconductors without destroying them. These methods are based on reflection, absorption, interference and
diffraction of light. | en |
| dc.language.iso | uk_UA | uk_UA |
| dc.publisher | ВНТУ | uk |
| dc.relation.ispartof | Матеріали LІII науково-технічної конференції підрозділів ВНТУ, Вінниця, 20-22 березня 2024 р. | uk |
| dc.relation.uri | https://conferences.vntu.edu.ua/index.php/all-frtzp/all-frtzp-2024/paper/view/20515 | |
| dc.subject | напівпровідникові прилади | uk |
| dc.subject | поляризаційний контроль | uk |
| dc.subject | інтерференційний контроль | uk |
| dc.subject | візуальний контроль | uk |
| dc.subject | semiconductor devices | en |
| dc.subject | polarization control | en |
| dc.subject | interference control | en |
| dc.subject | visual control | en |
| dc.title | Аналіз і класифікація методів оптичного контролю напівпровідників | uk |
| dc.type | Thesis | |
| dc.identifier.udc | 681.7 | |
| dc.relation.references | Тужанський С. Є., Лисенко Г. Л. Системи лазерної відеополяриметрії для автоматизованого контролю параметрів
неоднорідних біотканин : монографія. Вінниця : ВНТУ, 2011. 156 с. | uk |
| dc.relation.references | Бондарчук Я.М. Технологія і обробка оптичних матеріалів. Львів: Ліга-Прес, 2001. 242 с. | uk |
| dc.relation.references | Ушенко О.Г., Солтис І.В., Дуболазов О.В. [та ін.]. Поліграфічна лазерна томографічна система та алгоритми
комп’ютерної цифрової реконструкції структури дифузних полімерних матеріалів. Технологія і техніка друкарства.
2(76), с.16-21. | uk |
| dc.relation.references | Оксанич А.П. Промислові методи і пристрої дослідження напружено-деформованого стану напівпровідникових
матеріалів. Харків: Інститут монокристалів, 2001. 206 с | uk |
| dc.relation.references | Кожем’яко В.П., Готра З.Ю., Павлов С.В., Микитюк З.М., Готра О.З. Схемотехніка сучасного приладобудування. Ч.3
– Оптичні сенсори. Навчальний посібник. Вінниця: ВДТУ, 2002. 164 с. | uk |
