| dc.contributor.author | Осадчук, Олександр Володимирович | uk |
| dc.contributor.author | Нікешин, Юрій Ігорович | uk |
| dc.contributor.author | Осадчук, Александр Владимирович | ru |
| dc.contributor.author | Никешин, Юрий Игоревич | ru |
| dc.contributor.author | Osadchuk, Oleksandr Volodymyrovych | en |
| dc.contributor.author | Nikeshyn, Yurii Ihorovych | en |
| dc.date.accessioned | 2015-04-28T08:05:25Z | |
| dc.date.available | 2015-04-28T08:05:25Z | |
| dc.date.issued | 2012-01-25 | |
| dc.identifier | 66947 | |
| dc.identifier.citation | Пат. 66947, МПК H01L 21/66, G01R 31/26. Мікроелектронний шестизондовий пристрій для вимірювання напівпровідникового опору [Текст] / О. В. Осадчук, Ю. І. Нікешин (Україна). - № u201108127 ; заявл. 29.06.2011 ; опубл. 25.01.2012, Бюл. № 2. - 2 с. : кресл. | uk |
| dc.identifier.uri | http://ir.lib.vntu.edu.ua/handle/123456789/617 | |
| dc.description.abstract | Мікроелектронний чотиризондовий пристрій для вимірювання напівпровідникового опору містить котушку індуктивності і ємність, яка підключена до джерела живлення. В нього введено чотири зонди, друге джерело живлення, два резистори, біполярний транзистор та польовий транзистор. | uk |
| dc.description.abstract | Микроэлектронное четырехзондовое устройство для измерения полупроводникового сопротивления содержит катушку индуктивности и емкость, которая подключена к источнику питания. В него введены четыре зонда, второй источник питания, два резистора, биполярный транзистор и полевой транзистор. | ru |
| dc.description.abstract | A microelectronic four-probe device for measurement of semiconductor resistance comprises an inductance coil and a capacitor connected to a power source. Four probes, a second power source, two resistors, a bipolar transistor and a field-effect transistor are incorporated. | en |
| dc.language.iso | uk_UA | uk_UA |
| dc.publisher | Державне підприємство "Український інститут промислової власності" (УКРПАТЕНТ) | uk |
| dc.subject | H01L 21/66 | |
| dc.subject | G01R 31/26 | |
| dc.subject | вимірювальна техніка | uk |
| dc.subject | електрофізичні параметри матеріалів | uk |
| dc.subject | мікроелектронний пристрій | uk |
| dc.subject | вимірювання напівпровідникового опору | uk |
| dc.title | Мікроелектронний чотиризондовий пристрій для вимірювання напівпровідникового опору | uk |
| dc.title.alternative | Микроэлектронное четырех-зондовое устройство для измерения полупроводникового сопротивления | ru |
| dc.title.alternative | Microelectronic four-probe device for measurement of semiconductor resistance | en |
| dc.type | Other | |
