| dc.contributor.author | Кравченко, Сергій Юрійович | uk |
| dc.contributor.author | Кравченко, Юрій Степанович | uk |
| dc.contributor.author | Осадчук, Володимир Степанович | uk |
| dc.contributor.author | Кравченко, Сергей Юрьевич | ru |
| dc.contributor.author | Кравченко, Юрий Степанович | ru |
| dc.contributor.author | Осадчук, Владимир Степанович | ru |
| dc.contributor.author | Kravchenko, Serhii Yuriiovych | en |
| dc.contributor.author | Kravchenko, Yurii Stepanovych | en |
| dc.contributor.author | Osadchuk, Volodymyr Stepanovych | en |
| dc.date.accessioned | 2015-05-07T10:27:22Z | |
| dc.date.available | 2015-05-07T10:27:22Z | |
| dc.date.issued | 2011-11-25 | |
| dc.identifier | 64926 | |
| dc.identifier.citation | Пат. 64926 UA, МПК H01L 21/302. Пристрій для визначення моменту закінчення процесу плазмового травлення [Текст] / С. Ю. Кравченко, Ю. С. Кравченко, В. С. Осадчук (Україна). - № u201104431 ; заявл. 11.04.2011 ; опубл. 25.11.2011, Бюл. № 22. - 2 с. : кресл. | uk |
| dc.identifier.uri | http://ir.lib.vntu.edu.ua/handle/123456789/698 | |
| dc.description.abstract | Пристрій для визначення моменту закінчення процесу плазмового травлення належить до електронної техніки. Технічний результат корисної моделі полягає в введенні нових блоків і зв'язків. | uk |
| dc.description.abstract | Устройство для определения момента окончания процесса плазменного травления относится к электронной технике. Технический результат полезной модели заключается во введении новых блоков и связей. | ru |
| dc.description.abstract | A device for determination of end of plasma etching process relates to electronics. The technical result is incorporation of new units and connections. | en |
| dc.language.iso | uk_UA | uk_UA |
| dc.publisher | Державне підприємство "Український інститут промислової власності" (УКРПАТЕНТ) | uk |
| dc.subject | H01L 21/302 | |
| dc.subject | електронна техніка | uk |
| dc.subject | процес плазмового травлення | uk |
| dc.subject | контроль плазмових процесів | uk |
| dc.title | Пристрій для визначення моменту закінчення процесу плазмового травлення | uk |
| dc.title.alternative | Устройство для определения момента окончания процесса плазменного травления | ru |
| dc.title.alternative | Device for determination of plasma etching process finishing | en |
| dc.type | Patent | |
