Пристрій для вимірювання оптичного випромінювання з активним індуктивним фоточутливим елементом

Abstract

1. Об'єкт винаходу - пристрій для вимірювання оптичного випромінювання з активним індуктивним фоточутливим елементом. 2. Галузь застосування - контрольно-вимірювальна техніка. 3. Суть винаходу - пристрій для вимірювання оптичного випромінювання з активним індуктивним фоточутливим елементом, який містить два джерела постійної напруги, перший резистор, три МДН-фототранзистора, які виконано з прозорим затворним електродом із Аu, що є чутливим до випромінювання, а поверхня підкладки вільна від діелектрика, чутлива до випромінювання і має над областю каналу пази, площа перерізу кожного з яких А задовольняє наступне співвідношення: A<S/n, де S - площа канала, n - число пазів, послідовне коло, яке утворено першим конденсатором і другим резистором, і яке підключено паралельно стоку і витоку другого МДН-фототранзистора, другий конденсатор, який підключено паралельно другому джерелу постійної напруги. Вихід пристрою утворений затвором третього МДН-фототранзистора і загальною шиною. 4. Технічний результат - підвищення чутливості, точності і розширення границь вимірювання.

Изобретение относится к средствам контрольно-измерительной техники для измерения оптического излучения с активным индуктивным фоточувствительным элементом. Устройство для измерения оптического излучения с активным индуктивным фоточувствительным элементом содержит первый источник постоянного напряжения, первый МДП-фототранзистор, два конденсатора, два резистора. Дополнительно устройство содержит второй и третий МДП-фототранзисторы, причем все три МДП-фототранзистора выполнены с прозрачным затворным электродом из аурума, чувствительным к оптическому излучению, а поверхность подкладки, свободная от диэлектрика и чувствительная к оптическому излучению, имеет над областью канала МДП-фототранзистора пазы, площадь сечения А каждого из которых удовлетворяет соотношению: A<s/n, где S - площадь канала МДП-фототранзистора, n - число пазов, а также второй источник постоянного напряжения, причем первый полюс первого источника постоянного напряжения соединен с первым выводом первого резистора, второй вывод первого резистора соединен с затвором первого МДП-фототранзистора, сток которого подключен к первому выводу первого конденсатора, затвору и истоку второго МДП-фототранзистора и затвору третьего МДН-фототранзистора, который образует первую выходную клемму, при этом исток первого МДП-фототранзистора соединен со стоком и подкладкой третьего МДП-фототранзистора, а второй вывод первого конденсатора соединен с подкладкой второго МДП-фототранзистора и первым выводом второго резистора, а второй вывод второго резистора соединен со стоком второго МДП-фототранзистора, первым выводом второго конденсатора и первым полюсом второго источника постоянного напряжения, при этом второй полюс второго источника постоянного напряжения подключен ко второму выводу второго конденсатора, истоку третьего МДП-фототранзистора и второму полюсу первого источника постоянного напряжения, которые образуют общую шину, к которой подключена вторая выходная клемма. Изобретение обеспечивает повышение чувствительности, точности и расширения границ измерения.

The invention relates to means of inspection technology for measuring optical radiation with an active inductance photosensitive member. An optical radiation measuring device with an active inductance photosensitive member comprises a first DC voltage source, a first MIS light-activated transistor, two capacitors, two resistors. Additionally, the device comprises second and third MIS light-activated transistors, with all transistors being performed with a transparent gate electrode sensitive to optical radiation, a substrate surface free from dielectric and sensitive to optical radiation has slots above a MIS-transistor channel, cross-section A each of which satisfies the ratio: A<s/n, where S – aria of MIS light-activated transistor channel, n – a number of slots, a second DC source, a first terminal of the first DC source is connected to first terminal of a first resistor, second terminal of the first resistor is connected to gate of the first MIS light-activated transistor, drain of which is connected to first lead of a first capacitor, gate and source of the second MIS light-activated transistor and gate of the third MIS light-activated transistor, which forms a first output terminal. Source of the first MIS light-activated transistor is connected to drain and substrate of the third MIS light-activated transistor, second lead of the first capacitor is connected to substrate of the second MIS light-activated transistor and first terminal of the second resistor. Second terminal of the second resistor is connected to drain of second MIS light-activated transistor, first lead of the second capacitor and a first pole of the second DC source, a second pole of the second DC source is connected to second lead of the second capacitor, source of the third MIS light-activated transistor and second pole of the first DC source, which form a utility bus to which a second output terminal is connected. The invention provides enhance of sensitivity, accuracy and extension of boundaries of measurement.