Визначення методі і розробка пристрою обчислення густини мікродефектів в напівпровідникових пластинах кремнію
Анотації
Виявлення свирлевих дифектів. Detection of spider-like distortions
Будь ласка, використовуйте цей ідентифікатор, щоб цитувати або посилатися на цей ресурс:
http://ir.lib.vntu.edu.ua//handle/123456789/27203