Аналіз і класифікація методів оптичного контролю напівпровідників
Анотації
Розглядаються візуальні, інтерференційні, поляризаційні та інші методи. Обговорюються їхні переваги, недоліки та практичне застосування. Оптичні методи дозволяють досліджувати склад, властивості, структуру та параметри напівпровідників без їх руйнування. Ці методи ґрунтуються на відбитті, поглинанні, інтерференції та дифракції світла.
Будь ласка, використовуйте цей ідентифікатор, щоб цитувати або посилатися на цей ресурс:
https://ir.lib.vntu.edu.ua//handle/123456789/41542