Спосіб визначення моменту закінчення процесу плазмохімічного травлення

Author
Кравченко, Юрій Степанович
Дудник, Дмитро Петрович
Кравченко, Юрий Степанович
Дудник, Дмитрий Петрович
Kravchenko, Yurii Stepanovych
Dudnyk, Dmytro Petrovych
Date
2008-04-10
Metadata
Show full item record
Collections
Abstract
Спосіб визначення моменту закінчення процесу плазмохімічного травлення належить до області електронної техніки і може бути використаний для контролю плазмохімічних процесів в різноманітних пристроях автоматичного керування технологічними процесами.
URI:
http://ir.lib.vntu.edu.ua/handle/123456789/11415
View/Open