| dc.contributor.author | Кравченко, Юрій Степанович | uk |
| dc.contributor.author | Кравченко, Сергій Юрійович | uk |
| dc.contributor.author | Кравченко, Юрий Степанович | ru |
| dc.contributor.author | Кравченко, Сергей Юрьевич | ru |
| dc.contributor.author | Kravchenko, Yurii Stepanovych | en |
| dc.contributor.author | Kravchenko, Serhii Yuriiovych | en |
| dc.date.accessioned | 2015-01-17T11:12:07Z | |
| dc.date.available | 2015-01-17T11:12:07Z | |
| dc.date.issued | 2013-04-25 | |
| dc.identifier | 79431 | |
| dc.identifier.citation | Пат. 79431 UA, МПК H01L 21/306. Спосіб плазмового травлення в хлоровуглецевій плазмі [Текст] / Ю. С. Кравченко, С. Ю. Кравченко (Україна). - № u201211051 ; заявл. 24.09.2012 ; опубл. 25.04.2013, Бюл. № 8. - 4 с. : кресл. | uk |
| dc.identifier.uri | http://ir.lib.vntu.edu.ua/handle/123456789/172 | |
| dc.description.abstract | Спосіб плазмового травлення в хлоровуглецевій плазмі, при якому травлення проводять у плазмі, яку одержують високочастотним електромагнітним полем в реакційній камері при пониженому тиску газу та суміші основного газу-реагенту. | uk |
| dc.description.abstract | Способ плазменного травления в хлоруглеродной плазме, при котором травление проводят в плазме, получаемой высокочастотным электромагнитным полем в реакционной камере при пониженном давлении газа и смеси основного газа-реагента. | ru |
| dc.description.abstract | A method for plasma etching in chlorocarbon plasma is proposed. The method comprises performing etching in plasma produced by a high-frequency electromagnetic field in a reaction chamber with low gas pressure and a mixture of the main gas-reagent. | en |
| dc.language.iso | uk_UA | uk_UA |
| dc.publisher | Державне підприємство "Український інститут промислової власності" (УКРПАТЕНТ) | uk |
| dc.subject | H01L 21/306 | |
| dc.subject | хлоровуглецева плазма | uk |
| dc.subject | спосіб плазмового травлення | uk |
| dc.subject | електронна техніка | uk |
| dc.subject | рельєф напівпровідникових структур | uk |
| dc.title | Спосіб плазмового травлення в хлоровуглецевій плазмі | uk |
| dc.title.alternative | Способ плазменного травления в хлороуглеродной плазме | ru |
| dc.title.alternative | METHOD FOR PLASMA ETCHING IN CHLOROCARBON PLASMA | en |
| dc.type | Other | |
