Показати скорочену інформацію

Спосіб плазмового травлення оптично прозорих плівок оксиду індію та олова

dc.contributor.authorКравченко, Юрій Степановичuk
dc.contributor.authorПлахотнюк, Максим Миколайовичuk
dc.contributor.authorКравченко, Юрий Степановичru
dc.contributor.authorПлахотнюк, Максим Николаевичru
dc.contributor.authorKravchenko, Yurii Stepanovychen
dc.contributor.authorPlakhotniuk, Maksym Mykolaiovychen
dc.date.accessioned2015-09-16T11:31:47Z
dc.date.available2015-09-16T11:31:47Z
dc.date.issued2007-04-25
dc.identifier22675
dc.identifier.citationПат. 22675 UA, МПК H01L 21/306. Спосіб плазмового травлення оптично прозорих плівок оксиду індію та олова [Текст] / Ю. С. Кравченко, М. М. Плахотнюк (Україна). - № u200613072 ; заявл. 11.12.2006 ; опубл. 25.04.2007, Бюл. № 5. - 2 с. : кресл.uk
dc.identifier.urihttp://ir.lib.vntu.edu.ua/handle/123456789/1835
dc.description.abstractСпосіб плазмового травлення оптично прозорих плівок оксиду індію та олова належить до електронної техніки і може бути використаний в мікроелектронній технології при формуванні напівпровідникових структур на основі оксидів олова та індію.uk
dc.description.abstractСпособ плазменного травления оптически прозрачных пленок оксида индия и олова относится к электронной технике и может быть использован в микроэлектронной технологии при формировании полупроводниковых структур на основе оксидов олова и индия.ru
dc.description.abstractA plasma etching method for optically transparent films of indium and tin oxides relates to electronic engineering and can be used in microelectronic technique at forming semitransparent structures on the base of indium and tin oxides.en
dc.language.isouk_UAuk_UA
dc.publisherДержавне підприємство "Український інститут промислової власності" (УКРПАТЕНТ)uk
dc.subjectH01L 21/306
dc.subjectхлоровуглецева плазмаuk
dc.subjectспосіб плазмового травленняuk
dc.subjectформування напівпровідникових структурuk
dc.subjectелектронна технікаuk
dc.subjectоксид оловаuk
dc.subjectоксид індіюuk
dc.titleСпосіб плазмового травлення оптично прозорих плівок оксиду індію та оловаuk
dc.title.alternativeСпособ плазменного травления оптически прозрачных пленок оксида индия и оловаru
dc.title.alternativePlasma etching method for optically transparent films of indium and tin oxidesen
dc.typePatent


Файли в цьому документі

Thumbnail
Ім'я:
22675.pdf
Розмір:
68.22Kb
Формат:
PDF
Відкрити

Даний документ включений в наступну(і) колекцію(ї)

Показати скорочену інформацію