• English
    • українська
  • українська 
    • English
    • українська
  • Увійти
Дивитися документ 
  • Головна
  • Патенти, авторські свідоцтва
  • Факультет інформаційних електронних систем
  • Дивитися документ
  • Головна
  • Патенти, авторські свідоцтва
  • Факультет інформаційних електронних систем
  • Дивитися документ
Сайт інституційного репозитарію ВНТУ містить роботи, матеріали та файли, які були розміщені докторантами, аспірантами та студентами Вінницького Національного Технічного Університету. Для розширення функцій сайту рекомендується увімкнути JavaScript.

Пристрій для визначення моменту закінчення процесу плазмового травлення

Автор
Кравченко, Юрій Степанович
Даниленко, Олена Олександрівна
Кравченко, Юрий Степанович
Kravchenko, Yurii Stepanovych
Дата
2005-01-17
Metadata
Показати повну інформацію
Collections
  • Факультет інформаційних електронних систем [678]
Анотації
Пристрій для визначення моменту закінчення процесу плазмового травлення містить вузькосмуговий інтерференційний фільтр, фотоперетворювач, фотодіод, резистор, біполярний та польовий транзистори, індуктивність, ємність і два джерела постійної напруги.
 
Предлагаемое устройство для определения момента времени завершения процесса плазменного травления содержит узкополосный интерференционный фильтр, фотоэлектрический преобразователь, фотодиод, резистор, биполярный и полевой транзисторы, катушку индуктивности и два источника постоянного напряжения.
 
The proposed device for determining the end of plasma etching process contains a narrow-band interference filter, a photoelectric converter, a photodiode, a resistor, a bipolar transistor, a field-effect transistor, an inductance coil, and two direct voltage sources.
 
URI:
http://ir.lib.vntu.edu.ua/handle/123456789/2586
Відкрити
4413.pdf (110.3Kb)

Інституційний репозиторій

ГоловнаПошукДовідкаКонтактиПро нас

Ресурси

JetIQСайт бібліотекиСайт університетаЕлектронний каталог ВНТУ

Перегляд

Всі архівиСпільноти та колекціїЗа датою публікаціїАвторамиНазвамиТемамиТипВидавництвоМоваУДКISSNВидання, що міститьDOIЦя колекціяЗа датою публікаціїАвторамиНазвамиТемамиТипВидавництвоМоваУДКISSNВидання, що міститьDOI

Мій обліковий запис

ВхідРеєстрація

Статистика

View Usage Statistics

ISSN 2413-6360 | Головна | Відправити відгук | Довідка | Контакти | Про нас
© 2016 Vinnytsia National Technical University | Extra plugins code by VNTU Linuxoids | Powered by DSpace
Працює за підтримки 
НТБ ВНТУ