Пристрій для випарування матеріалів

Abstract

Пристрій для випарування матеріалів складається із технологічної камери, в якій розміщено тигель з встановленим над ним колектором пари, і розташованих ззовні послідовно функціонально з'єднаних нагрівника, мікропроцесорної системи керування нагрівником і системи контролю стану процесу. В нього введено ваговий тензометричний сенсор, розташований над технологічною камерою в окремому корпусі, з зондом, розміщеним всередині технологічної камери. При цьому вихід вагового тензометричного сенсора з'єднаний зі входом системи контролю стану процесу.

Устройство для выпаривания материалов состоит из технологической камеры, в которой размещено тигель с установленным над ним коллектором пара, и расположенных внешне последовательно функционально соединенных нагревателя, микропроцессорной системы управления нагревателем и системы контроля состояния процесса. В него введен массовый тензометрический сенсор, расположенный над технологической камерой в отдельном корпусе, с зондом, размещенным внутри технологической камеры. При этом выход массового тензометрического сенсора соединен с входом системы контроля состояния процесса.

A device for vaporization of materials comprises technological chamber, in which crucible with collector of vapor is placed, which installed over it, and functionally connected heaters located externally consistently, microprocessor control system of the heater and the control system of condition of process. Mass tensometric sensor is introduced into sand device, located over technology chamber in individual case, with arrangement, located inside of the technology chamber. At that outlet of mass tensometric sensor is connected to the input of control system of a condition of process.