Пристрій для визначення моменту закінчення процесу плазмового травлення
Author
Кравченко, Сергій Юрійович
Кравченко, Юрій Степанович
Осадчук, Володимир Степанович
Кравченко, Сергей Юрьевич
Кравченко, Юрий Степанович
Осадчук, Владимир Степанович
Kravchenko, Serhii Yuriiovych
Kravchenko, Yurii Stepanovych
Osadchuk, Volodymyr Stepanovych
Date
2011-11-25Metadata
Show full item recordCollections
Abstract
Пристрій для визначення моменту закінчення процесу плазмового травлення належить до електронної техніки. Технічний результат корисної моделі полягає в введенні нових блоків і зв'язків. Устройство для определения момента окончания процесса плазменного травления относится к электронной технике. Технический результат полезной модели заключается во введении новых блоков и связей. A device for determination of end of plasma etching process relates to electronics. The technical result is incorporation of new units and connections.
Please use this identifier to cite or link to this item:
http://ir.lib.vntu.edu.ua/handle/123456789/698