Пристрій для визначення моменту закінчення процесу плазмового травлення

Abstract

Пристрій для визначення моменту закінчення процесу плазмового травлення належить до електронної техніки. Технічний результат корисної моделі полягає в введенні нових блоків і зв'язків.

Устройство для определения момента окончания процесса плазменного травления относится к электронной технике. Технический результат полезной модели заключается во введении новых блоков и связей.

A device for determination of end of plasma etching process relates to electronics. The technical result is incorporation of new units and connections.